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什麼是無塵潔淨(jìng)室光學(xué)黃光區(qū)操作相關(guān)
日期：2025-04-28 16:43
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摘要：什麼是無塵潔淨(jìng)室光學(xué)黃光區(qū)操作相關(guān)，無菌室梓成淨(jìng)化在此與大家一起去探討一下。
一、潔淨(jìng)等級劃分：十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級等靜態(tài)。聯(lián)邦209E標(biāo)準(zhǔn)：每立方英尺空間內(nèi)粒徑為0.5um的粒子不超過多少個(gè)。
二、無塵潔淨(jìng)室它是懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式使得進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留於室內(nèi)的粒子*少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括：溫度、溫度、氣壓等，按需要受控。（醫(yī)用潔淨(jìng)室、工業(yè)潔淨(jìng)室）
三、根據(jù)《潔淨(jìng)廠房設(shè)計(jì)規(guī)範(fàn)》編製組的調(diào)查，對工作認(rèn)為比較合適的照度作了統(tǒng)計(jì)，其結(jié)果略高於150lx。因此，將一般照明的下限值定為150lx是合適的，雖然在300lx時(shí)有更高的工作效率。根據(jù)大量驗(yàn)收測定發(fā)現(xiàn)，照度值達(dá)到200lx以上就比較困難，實(shí)際上150lx已相當(dāng)亮了，因?yàn)槠骄斩纫哽端芏唷９ぷ鲄^(qū)內(nèi)用平均照度意義不大，因?yàn)橛腥羟c(diǎn)在150lx以下，就不適合工作。
四、光學(xué)黃光區(qū)操作相關(guān)須知:
1、濕度及溫度會(huì)影響對準(zhǔn)工作，在黃光區(qū)應(yīng)注意溫度及濕度，並應(yīng)減少對準(zhǔn)機(jī)附近的人，以減少濕、溫度的變化。
2、己上妥光阻，而在等待對準(zhǔn)曝光之芯片，應(yīng)放置於不透明之藍(lán)黑色晶盒之內(nèi)，盒蓋必須蓋妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區(qū)以免感光。
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